| 标准号： |
DIN 50451-2-2003 |
| 英文名称： |
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 2: Calcium (Ca), cobalt (Co), chromium (Cr), copper (Cu), Iron (Fe), nickel (Ni) and zinc (Zn) in hydrofluoric acid with plasma-induced emission spectroscopy |
| 中标分类： |
冶金>>元素半导体材料 |
| 发布日期： |
2003-04 |
| 发布单位： |
DE-DIN |
| 标准状态： |
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| ICS分类： |
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| 正文语言： |
德语 |
| 原文名称： |
Pruefung von Materialien fuer die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Fluessigkeiten - Teil 2: Calcium (Ca), Cobalt (Co), Chrom (Cr), Kupfer (Cu), Eisen (Fe), Nickel (Ni) und Zink (Zn) in Flusssaeure mittels Plasma-angeregter Emissionsspektrometrie |
| 页数： |
8P.;A4 |
| 被代替标准： |
DIN 50451-2-1990;DIN 50451-2-2002 |
| 内容提要（CN）： |
铁;锌;高纯度;检定;含量测定;铬;发射分光光度测定法;氢氟酸;半导体工艺;化学分析和试验;液体;纯净水;铜;微量元素;分析;钙;金属;镍;半导体工程;半导体;钴;定义;微量元素分析;材料;试验;材料试验 |
| 内容提要（EN）： |
analysis;semiconductor engineering;semiconductors;cobalt;trace elements;liquids;emission spectrophotometry;zinc;copper;calcium;determination of content;testing;hydrofluoric acid;metals;chromium;definitions;materials;definition;nickel;high-purity;superpurity water;materials testing;assay;chemical analysis and testing;iron;trace element analysis;semiconductor technology |
| 归属： |
德国 |
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