| 标准分类 Standards |
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| 中文名称：半导体器件. 微机电设备. MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法 |
| 标准号:BS IEC 62047-30-2017 |
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| 标准号： |
BS IEC 62047-30-2017 |
| 英文名称： |
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film |
| 中标分类： |
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| 发布日期： |
2017-10-09 |
| 发布单位： |
GB-BSI |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| 实施日期： |
2017-10-31 |
| ICS分类： |
其他半导体器件>>其他半导体器件 |
| 起草单位/标准公告： |
BSI |
| 正文语言： |
英语 |
| 页数： |
22P.;A4 |
| 引用标准： |
IEC 60483-1976;EN 50324-2-2002 |
| 采用关系： |
IEC 62047-30-2017,IDT |
| 内容提要（EN）： |
Thin-film circuits;Integrated circuit manufacture;Semiconductor technology;Electromechanical devices;Electronic equipment and components;Semiconductor devices |
| 归属： |
英国 |
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