| 标准分类 Standards |
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| 中文名称：采用俄歇电子能谱学进行深度剖面的标准指南 |
| 标准号:ASTM E1127-2008(2015) |
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| 标准号： |
ASTM E1127-2008(2015) |
| 英文名称： |
Standard Guide for Depth Profiling in Auger Electron Spectroscopy |
| 中标分类： |
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| 发布日期： |
2008 |
| 发布单位： |
US-ASTM |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| 确认日期： |
2015 |
| ICS分类： |
物理化学分析方法>>物理化学分析方法 |
| 起草单位/标准公告： |
E42.03 |
| ***： |
Guid |
| 页数： |
5P.;A4 |
| 内容提要（EN）： |
angle lapping; angle-resolved AES; Auger electron spectroscopy; ball cratering; compositional depth profiling; cross sectioning; depth profiling; depth resolution; sputter depth profiling; sputtering; thin films; |
| 归属： |
美国 |
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