| 标准分类 Standards |
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| 中文名称：气体分配系统元部件用金属表面状态的能量分散X射线分光光谱仪 (EDX) 分析的标准试验方法 |
| 标准号:ASTM F1375-1992(2012) |
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| 标准号： |
ASTM F1375-1992(2012) |
| 英文名称： |
Standard Test Method for Energy Dispersive X-Ray Spectrometer (EDX) Analysis of Metallic Surface Condition for Gas Distribution System Components |
| 中标分类： |
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| 发布日期： |
1992 |
| 发布单位： |
US-ASTM |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| 确认日期： |
2012 |
| ICS分类： |
表面特征>>表面特征 |
| 起草单位/标准公告： |
F01.10 |
| ***： |
Test |
| 页数： |
4P.;A4 |
| 内容提要（EN）： |
components; connectors; contamination; EDX; gas distribution components; SEM/EDX; semiconductor processing; surface condition; tubing |
| 归属： |
美国 |
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