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| 所属分类:首页 >> 图书分类 >> F能源、核技术 >> 硅材料检测技术 |

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| 丛书名: |
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ISBN: |
978-7-122-05568-2 |
| 供应商: |
化学工业出版社 |
出版日期: |
2009-08-01 00:00:00 |
| 编著者: |
康伟超、王丽 主编 |
译者: |
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| 版次: |
1-1 |
印次: |
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| 页数: |
143 |
语种: |
中文 |
| 纸张: |
70G |
包装: |
平 |
| 开本: |
16 |
读者对象: |
所有 |
| 定价: |
¥27.00 |
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| 会员价: |
¥25.65 |
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| 高级会员价: |
¥24.36 |
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| vip会员价: |
¥23.14 |
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| 本书主要介绍了半导体硅材料常规电学参数的物理测试方法、检测晶体缺陷的化学腐蚀法、半导体晶体定向法、硅单晶中氧和碳含量的测定方法。本书还介绍了多晶硅中基硼、基磷含量的检验方法、纯水的制备及高纯分析方法。 为了确保测试数据的准确性,对硅材料常规物理参数测试的测准条件作了详细的分析介绍。对先进的测试技术作了一般的介绍。本书是硅材料技术专业的核心教材。 本书可作为高职高专硅材料技术及光伏专业的教材,同时也可作为中专、技校和从事单晶硅生产的企业员工的培训教材,还可供相关专业工程技术人员学习参考。 |
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