| 标准分类 Standards |
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| 中文名称：机械安全性.机械电气设备.第33部分:半导体制造设备要求 |
| 标准号:JIS B9960-33-2012 |
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| 标准号： |
JIS B9960-33-2012 |
| 英文名称： |
Safety of machinery -- Electrical equipment of machines -- Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备综合 |
| 发布日期： |
2012-05-21 |
| 发布单位： |
JP-JISC |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| 实施日期： |
2012-05-21 |
| 确认日期： |
2013-01 |
| ICS分类： |
机械安全>>机械安全 |
| 起草单位/标准公告： |
Technical Committee on Industrial Machinery |
| 正文语言： |
英语 |
| 原文名称： |
キカイルイノアンゼンセイ―キカイノデンキソウチ―ダイ３３ブ：ハンドウタイセイゾウソウチニタイスルヨウキュウジコウ |
| 页数： |
124P;A4 |
| 译文语言： |
en |
| 引用标准： |
JIS B9700-2;JIS B9705-1;JIS B9706-1;JIS B9706-2;JIS B9706-3;JIS B9712;JIS B9961;JIS C0445;JIS C0446;JIS C0447;JIS C0448;JIS C0617;JIS C0920;JIS C0922;JIS C1010-1;JIS C6950-1;JIS C8201-3;JIS C60364-4-41;JIS C60364-4-43;JIS C60364-6;JIS C60695-11-10;JIS C61558-1;JIS C61558-2-6;IEC 60034-11-2004;IEC 60038;IEC 60072;IEC 60417;IEC 61508-3;IEC 61557-3-2007;IEC 61800-5-1-2007 |
| 采用关系： |
IEC 60204-33-2009,IDT |
| 归属： |
日本 |
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下载：“电子工业生产设备综合”相关标准( 下载...)
下载“机械安全”相关标准(下载...)
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