| 标准号： |
DIN 50452-3-1995 |
| 英文名称： |
Testing of materials for semiconductor technology - Test method for particle analysis in liquids - Part 3: Calibration of optical particle counters |
| 中标分类： |
冶金>>元素半导体材料 |
| 发布日期： |
1995-10 |
| 发布单位： |
DE-DIN |
| 标准状态： |
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| ICS分类： |
0>>0 |
| 正文语言： |
德语 |
| 原文名称： |
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Verfahren zur Teilchenanalytik in Flüssigkeiten - Teil 3: Kalibrierung von optischen Durchflu?partikelz?hlern |
| 页数： |
6P.;A4 |
| 内容提要（CN）： |
粒子分析;颗粒物质的测定;测量技术;校正;材料试验;浓缩值;浓缩;定义;半导体工艺;光学测量;流量测量 |
| 内容提要（EN）： |
concentration values;optical measurement;materials testing;calibration;measuring techniques;concentration;particle analysis;definitions;particulate matter measurement;flow measurements;semiconductor technology |
| 归属： |
德国 |
