标准分类 Standards |
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中文名称:半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 —电感耦合等离子体原子发射光谱法 |
标准号:JC/T 2133-2012 |
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标准号: |
JC/T 2133-2012 |
英文名称: |
Determination of impurities in silica sol for polishing solution in semiconductor industry.Inductively coupled plasma atomic emission spectrometric method |
中标分类: |
建材>>粘结材料 |
发布日期: |
2012-12-28 |
发布单位: |
CN-JC |
标准状态: |
请与本站工作人员进行确认 |
实施日期: |
2013-06-01 |
确认日期: |
2017-05-12 |
ICS分类: |
分析化学>>分析化学 |
起草单位/标准公告: |
中国科学院上海硅酸盐研究所 |
正文语言: |
汉语 |
页数: |
11P.;A4 |
附注: |
根据中华人民共和国工业和信息化部公告2017年第23号,本标准继续有效。 |
引用标准: |
GB/T 602;GB/T 6682 |
归属: |
中国 |
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