| 标准分类 Standards |
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| 中文名称：X射线反射计用薄膜的厚度、密度和接口宽度的评估.仪器邀请,校准和定位,数据收集,数据分析和报告 |
| 标准号:ISO 16413-2013 |
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| 标准号： |
ISO 16413-2013 |
| 英文名称： |
Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry - Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting |
| 中标分类： |
0>>0 |
| 发布日期： |
2013-02 |
| 发布单位： |
IX-ISO |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| ICS分类： |
信息技术在自然科学中的应用>>信息技术在自然科学中的应用 |
| 起草单位/标准公告： |
ISO/TC 201 |
| 正文语言： |
英语 |
| 页数： |
30P;A4 |
| 被代替标准： |
ISO/FDIS 16413-2012 |
| 采用关系： |
BS ISO 16413-2013,IDT;NEN-ISO 16413-2013 en-2013,IDT |
| 内容提要（CN）： |
数据分析;数据收集;定义;密度;评定;箔;接口;测量;测量仪器;测量技术;分析方法;定位;反射;规范(验收);表面;试验;厚度;薄膜;X射线;X射线分析 |
| 内容提要（EN）： |
Data analysis;Data collection;Definitions;Density;Evaluations;Foil;Interfaces;Measurement;Measuring instruments;Measuring techniques;Methods of analysis;Positioning;Reflexions;Specification (approval);Surfaces;Testing;Thickness;Thin films;X-ray;X-ray analysis |
| 归属： |
国际 |
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