| 标准号： |
DIN 50451-3-2014 |
| 英文名称： |
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 3: Determination of 31 elements in high-purity nitric acid by ICP-MS |
| 中标分类： |
冶金>>元素半导体材料 |
| 发布日期： |
2014-11 |
| 发布单位： |
DE-DIN |
| 标准状态： |
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| ICS分类： |
半导体材料>>半导体材料 |
| 正文语言： |
德语 |
| 原文名称： |
Prufung von Materialien fur die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flussigkeiten - Teil 3: Bestimmung von 31 Elementen in hochreiner Salpetersaure mittels ICP-MS |
| 页数： |
19P.;A4 |
| 附注： |
History:DIN 50451-3 (2014-11);DIN 50451-3 (2012-11);DIN 50451-3 (2003-04);DIN 50451-3 (2002-01);DIN 50451-3 (1994-10);DIN 50451-3 (1991-08) |
| 被代替标准： |
DIN 50451-3-2003;DIN 50451-3-2012 |
| 引用标准： |
DIN 32645-2008;DIN 50451-5-2010;DIN 51009-2013;DIN EN ISO 1042-1999;DIN EN ISO 1043-1-2012;DIN EN ISO 8655-2-2002;DIN EN ISO 14644-1-1999;DIN EN ISO 17294-2-2005;DIN ISO 3696-1991;DIN ISO 5725-2-2002;DIN ISO 5725-4-2003;ASTM D 5127-2013;VDI 2083 Blatt 1-2013 |
| 内容提要（EN）： |
Aluminium;Analysis;Chemical analysis and testing;Cobalt;Copper;Definitions;Determination of content;Elements;High-purity;ICP;Liquids;Mass spectrometry;Materials;Materials testing;Metals;Nickel;Nitric acid;Semiconductor engineering;Semiconductor technology;Semiconductors;Sodium;Superpurity water;Testing;Trace element analysis;Trace elements;Zinc;Inductively Coupled Plasma |
| 内容提要（QT）： |
Aluminium;Analyse;Begriffe;chemische Analyse;Cobalt;Definition;Element;Flussigkeit;Gehaltsbestimmung;Halbleiter;Halbleitertechnik;Halbleitertechnologie;hochrein;ICP;Kupfer;Massenspektrometrie;Material;Materialprufung;Metall;Natrium;Nickel;Prufung;Prufverfahren;Reinstwasser;Salpetersaure;Spurenanalyse;Spurenelement;Werkstoff;Zink |
| 归属： |
德国 |
