标准号: |
DIN 32564-1-2004 |
英文名称: |
Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 1: General terms of micro-system technology |
中标分类: |
0>>0 |
发布日期: |
2004-05 |
发布单位: |
DE-DIN |
标准状态: |
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ICS分类: |
精密机械>>精密机械 |
正文语言: |
德语 |
原文名称: |
Fertigungsmittel fuer Mikrosysteme - Begriffe - Teil 1: Allgemeine Begriffe der Mikrosystemtechnik |
页数: |
6P.;A4 |
被代替标准: |
DIN 32564-1-2003 |
内容提要(CN): |
工件;微技术;定义;半导体工程;制造;设备结构;精密机械;加工工程;制造用设备;设备工程;术语;加工设备;标准化 |
内容提要(EN): |
microtechnique;terminology;definitions;workpieces;definition;plant engineering;fine mechanics;production equipment;manufacturing equipment;standardization;production engineering;semiconductor engineering;plant construction;manufacturing |
归属: |
德国 |