| 标准号： |
DIN 32564-3-2004 |
| 英文名称： |
Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 3: Handling, storage and transport |
| 中标分类： |
0>>0 |
| 发布日期： |
2004-05 |
| 发布单位： |
DE-DIN |
| 标准状态： |
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| ICS分类： |
精密机械>>精密机械 |
| 正文语言： |
德语 |
| 原文名称： |
Fertigungsmittel fuer Mikrosysteme - Begriffe - Teil 3: Handhabung, Lagerung und Transport |
| 页数： |
5P.;A4 |
| 被代替标准： |
DIN 32564-3-2003 |
| 内容提要（CN）： |
加工工程;制造用设备;运输;设备工程;储存;标准化;术语;加工设备;精密机械;搬运;设备结构;定义;半导体工程;制造;微技术;工件 |
| 内容提要（EN）： |
transport;microtechnique;definitions;workpieces;definition;plant engineering;fine mechanics;handling;terminology;production equipment;manufacturing equipment;standardization;storage;production engineering;semiconductor engineering;plant construction;manufacturing |
| 归属： |
德国 |
