| 标准号： |
DIN 32564-2-2004 |
| 英文名称： |
Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 2: Basic technologies and production |
| 中标分类： |
0>>0 |
| 发布日期： |
2004-05 |
| 发布单位： |
DE-DIN |
| 标准状态： |
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| ICS分类： |
精密机械>>精密机械 |
| 正文语言： |
德语 |
| 原文名称： |
Fertigungsmittel fuer Mikrosysteme - Begriffe - Teil 2: Basistechnologien und Herstellung |
| 页数： |
5P.;A4 |
| 被代替标准： |
DIN 32564-2-2003 |
| 内容提要（CN）： |
工件;微技术;制造;半导体工程;定义;设备结构;标准方法;精密机械;加工设备;术语;标准化;生产;设备工程;制造用设备;加工工程 |
| 内容提要（EN）： |
microtechnique;standard method;terminology;definitions;workpieces;production;definition;plant engineering;fine mechanics;production equipment;manufacturing equipment;standardization;production engineering;semiconductor engineering;plant construction;manufacturing |
| 归属： |
德国 |
