标准号: |
DIN 32567-3-2014 |
英文名称: |
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 3: Derivation of correction values for tactile measuring devices |
中标分类: |
0>>0 |
发布日期: |
2014-10 |
发布单位: |
DE-DIN |
标准状态: |
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ICS分类: |
精密机械>>精密机械 |
正文语言: |
德语 |
原文名称: |
Fertigungsmittel fur Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflussen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 3: Ableitung von Korrekturwerten fur taktile Messgerate |
页数: |
28P.;A4 |
附注: |
History:DIN 32567-3 (2014-10);DIN 32567-3 (2012-07) |
被代替标准: |
DIN 32567-3-2012 |
引用标准: |
DIN 32564-1-2004;DIN 32567-1;DIN 32567-2-2014;DIN EN ISO 3274-1998;DIN EN ISO 5436-1-2000;DIN EN ISO 12179-2000;DIN EN ISO 25178-601-2011;VDI/VDE 2617 Blatt 12.1-2011;VDI/VDE 2629 Blatt 1-2008;VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010;VDI/VDE 2656 Blatt 1-2008 |
内容提要(EN): |
Coating thickness;Contact stylus instruments;Correction value;Deviations;Fine mechanics;Influence factors;Layer thickness measurement;Manufacturing;Manufacturing equipment;Materials;Measurement;Measuring techniques;Mechanical properties;Metrology;Microtechnique;Plant construction;Plant engineering;Production engineering;Production equipment;Semiconductor engineering;Surfaces;Tactile;Workpieces;Variations |
内容提要(QT): |
Abweichung;Anlagenbau;Anlagentechnik;Einflussfaktor;Feinmechanik;Fertigung;Fertigungseinrichtung;Fertigungsmittel;Fertigungstechnik;Halbleitertechnik;Korrekturwert;Material;mechanische Eigenschaft;Messtechnik;Messung;Messverfahren;Mikrotechnik;Oberflache;Schichtdicke;Schichtdickenmessung;taktil;Tastschnittgerat;Werkstuck |
归属: |
德国 |