| 标准号： |
DIN 32567-4-2015 |
| 英文名称： |
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 4: Specimen for optical procedures |
| 中标分类： |
0>>0 |
| 发布日期： |
2015-06 |
| 发布单位： |
DE-DIN |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| ICS分类： |
精密机械>>精密机械 |
| 正文语言： |
德语 |
| 原文名称： |
Fertigungsmittel fur Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflussen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 4: Prufkorper fur optische Verfahren |
| 页数： |
13P.;A4 |
| 附注： |
History:DIN 32567-4 (2015-06);DIN 32567-4 (2014-11) |
| 被代替标准： |
DIN 32567-4-2014 |
| 引用标准： |
DIN 32564-1-2004;DIN 32567-1-2015;DIN 32567-2-2014;ISO 8255-1-2011 |
| 内容提要（QT）： |
Abweichung;Anlagenbau;Anlagentechnik;Einflussfaktor;Feinmechanik;Fertigung;Fertigungseinrichtung;Fertigungsmittel;Fertigungstechnik;Halbleitertechnik;Material;Messbedingung;Messtechnik;Messung;Messverfahren;Mikrotechnik;Oberflache;Oberflachenmessgerat;optisch;physikalische Eigenschaft;Prufkorper;qualitativ;Schichtdicke;Schichtdickenmessung;taktil;Topographie;Werkstuck |
| 归属： |
德国 |
