标准号: |
DIN 32567-4-2015 |
英文名称: |
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 4: Specimen for optical procedures |
中标分类: |
0>>0 |
发布日期: |
2015-06 |
发布单位: |
DE-DIN |
标准状态: |
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ICS分类: |
精密机械>>精密机械 |
正文语言: |
德语 |
原文名称: |
Fertigungsmittel fur Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflussen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 4: Prufkorper fur optische Verfahren |
页数: |
13P.;A4 |
附注: |
History:DIN 32567-4 (2015-06);DIN 32567-4 (2014-11) |
被代替标准: |
DIN 32567-4-2014 |
引用标准: |
DIN 32564-1-2004;DIN 32567-1-2015;DIN 32567-2-2014;ISO 8255-1-2011 |
内容提要(QT): |
Abweichung;Anlagenbau;Anlagentechnik;Einflussfaktor;Feinmechanik;Fertigung;Fertigungseinrichtung;Fertigungsmittel;Fertigungstechnik;Halbleitertechnik;Material;Messbedingung;Messtechnik;Messung;Messverfahren;Mikrotechnik;Oberflache;Oberflachenmessgerat;optisch;physikalische Eigenschaft;Prufkorper;qualitativ;Schichtdicke;Schichtdickenmessung;taktil;Topographie;Werkstuck |
归属: |
德国 |