标准号: |
DIN 32567-1-2015 |
英文名称: |
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 1: Qualitative estimation of the material and procedure specific influences |
中标分类: |
0>>0 |
发布日期: |
2015-06 |
发布单位: |
DE-DIN |
标准状态: |
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ICS分类: |
精密机械>>精密机械 |
正文语言: |
德语 |
原文名称: |
Fertigungsmittel fur Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflussen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 1: Qualitative Abschatzung der material- und verfahrensspezifischen Einflusse |
页数: |
19P.;A4 |
附注: |
History:DIN 32567-1 (2015-06);DIN 32567-1 (2014-11) |
被代替标准: |
DIN 32567-1-2014 |
引用标准: |
DIN 32564-1-2004;DIN EN ISO 3274-1998;DIN EN ISO 25178-2-2012;DIN EN ISO 25178-6-2010;DIN EN ISO 25178-601-2011;DIN EN ISO 25178-602-2011;DIN EN ISO 25178-603-2014;DIN EN ISO 25178-604-2013;DIN EN ISO 25178-605-2014;DIN EN ISO 25178-606-2013;VDI/VDE 2602-1983;VDI/VDE 2617 Blatt 12.1-2011;VDI/VDE 2629 Blatt 1-2008;VDI/VDE 2629 Blatt 2-2012;VDI/VDE 2655 Blatt 1.1-2008;VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010;VDI/VDE 2656 Blatt 1-2008 |
内容提要(QT): |
Abweichung;Anlagenbau;Anlagentechnik;Begriffe;Definition;Einflussfaktor;Feinmechanik;Fertigung;Fertigungseinrichtung;Fertigungsmittel;Fertigungstechnik;Halbleitertechnik;Interferenzverfahren;Interferometer;Material;Messbedingung;Messtechnik;Messung;Messverfahren;Mikrotechnik;Oberflache;Oberflachenmessgerat;optisch;physikalische Eigenschaft;Prufkorper;qualitativ;Schichtdicke;Schichtdickenmessung;taktil;Tastschnittgerat;Tastschnittverfahren;Werkstuck |
归属: |
德国 |