| 标准号： |
BS EN 62047-21-2014 |
| 英文名称： |
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>半导体分立器件综合 |
| 发布日期： |
2014-10-31 |
| 发布单位： |
GB-BSI |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| 实施日期： |
2014-10-31 |
| ICS分类： |
其他半导体器件>>其他半导体器件 |
| 起草单位/标准公告： |
EPL/47 |
| 正文语言： |
英语 |
| 页数： |
18P.;A4 |
| 引用标准： |
IEC 62047-8-2011;ASTM E 132-04-2010;EN 62047-8-2011 |
| 采用关系： |
EN 62047-21-2014,IDT;IEC 62047-21-2014,IDT |
| 内容提要（EN）： |
Semiconductor devices;Electronic equipment and components;Electromechanical devices;Semiconductor technology;Integrated circuits;Thin-film devices;Fatigue testing;Bend testing;Resonance;Vibration;Test specimens;Test equipment |
| 归属： |
英国 |
