| 标准号： |
IEC 62047-30-2017 |
| 英文名称： |
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>半导体分立器件综合 |
| 发布日期： |
2017-0901 |
| 发布单位： |
IX-IEC |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| ICS分类： |
半导体器件综合>>半导体器件综合 |
| 起草单位/标准公告： |
IEC/SC 47F Micro-electromechanical systems |
| 正文语言： |
英语 |
| 原文名称： |
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 30:Messverfahren für die Kennwerte zur elektro-mechanischen Umformung piezolektrischer Dünnschichten von MEMS |
| 页数： |
20P.;A4 |
| 附注： |
History:IEC 62047-30-2017-09;IEC 47F/286/FDIS-2017-07;IEC 47F/254/CDV-2016-10;IEC 47F/241/CD-2016-02 |
| 被代替标准： |
IEC 47F/286/FDIS-2017 |
| 采用关系： |
BS IEC 62047-30-2017,IDT |
| 内容提要（EN）： |
Characteristics;Components;Consumer goods;Conversion;Definitions;Electromechanical;Energy converters;Industries;Materials;Measurement;Measuring techniques;Microelectronics;Microsystem techniques;Parameters;Piezoelectric;Production processes;Properties;Samples;Semiconductor devices;Sensors;System engineering;Test certificates;Testing;Testing conditions;Thin films;Thin-film technology |
| 归属： |
国际 |
