标准号: |
ISO/TTA 4-2002 |
英文名称: |
Measurement of thermal conductivity of thin films on silicon substrates |
中标分类: |
电子元器件与信息技术>>半导体分立器件综合 |
发布日期: |
2002-11 |
发布单位: |
IX-ISO |
标准状态: |
请与本站工作人员进行确认 |
ICS分类: |
有关热力学的其他标准>>有关热力学的其他标准 |
起草单位/标准公告: |
ISO/VAMAS/TTA/TWA 15 Metal matrix composites |
正文语言: |
英语 |
页数: |
19P.;A4 |
采用关系: |
NEN-ISO 4-2003 en-2003,IDT |
内容提要(CN): |
Insulations;Materials testing;Microelectronics;Samples;Silicon;Testing;Thermal conductivity;Thermal testing;Thickness;Thin films;Thin-film technology |
内容提要(EN): |
Insulations;Materials testing;Microelectronics;Samples;Silicon;Testing;Thermal conductivity;Thermal testing;Thickness;Thin films;Thin-film technology |
归属: |
国际 |