| 标准号： |
NF C96-050-6-2010 |
| 英文名称： |
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6 : axial fatigue testing methods of thin film materials. |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>微集成电路综合 |
| 发布日期： |
2010-09-01 |
| 发布单位： |
FR-AFNOR |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| 实施日期： |
2010-09-04 |
| ICS分类： |
半导体器件综合>>半导体器件综合 |
| 正文语言： |
其他 |
| 原文名称： |
Dispositifs ? semiconducteurs. Dispositifs microélectromécaniques. Partie 6 : méthodes d'essais de fatigue axiale des matériaux en couche mince |
| 页数： |
19P;A4 |
| 采用关系： |
EN 62047-6-2010,IDT;IEC 62047-6-2009,IDT |
| 内容提要（EN）： |
Base materials;Definitions;Dimensions;Electrical engineering;Fatigue;Fatigue limit;Materials;Microelectronics;Microsystem techniques;Room air temperature;Samples;Semiconductor devices;Specification (approval);System engineering;Tensile strain;Tensile testing;Testing;Testing devices;Testing system;Thin films;Thin-film devices;Thin-film technology |
| 归属： |
法国 |
