| 标准号： |
BS EN 62047-11-2013 |
| 英文名称： |
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>半导体分立器件综合 |
| 发布日期： |
2013-10-31 |
| 发布单位： |
GB-BSI |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| 实施日期： |
2013-10-31 |
| ICS分类： |
半导体器件综合>>半导体器件综合 |
| 起草单位/标准公告： |
BSI |
| 正文语言： |
英语 |
| 页数： |
24P;A4 |
| 采用关系： |
EN 62047-11-2013,IDT;IEC 62047-11-2013,IDT |
| 内容提要（EN）： |
Coefficient of extension;Electrical engineering;Materials;Microelectronics;Microsystem techniques;Samples;Semiconductor devices;System engineering;Tensile strain;Tensile testing;Testing;Testing devices;Testing system;Thermal expansion;Thermal expansion coefficient;Thin films;Thin-film devices;Thin-film technology |
| 归属： |
英国 |
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