标准号: |
BS EN 62047-11-2013 |
英文名称: |
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems |
中标分类: |
电子元器件与信息技术>>半导体分立器件综合 |
发布日期: |
2013-10-31 |
发布单位: |
GB-BSI |
标准状态: |
请与本站工作人员进行确认 |
实施日期: |
2013-10-31 |
ICS分类: |
半导体器件综合>>半导体器件综合 |
起草单位/标准公告: |
BSI |
正文语言: |
英语 |
页数: |
24P;A4 |
采用关系: |
EN 62047-11-2013,IDT;IEC 62047-11-2013,IDT |
内容提要(EN): |
Coefficient of extension;Electrical engineering;Materials;Microelectronics;Microsystem techniques;Samples;Semiconductor devices;System engineering;Tensile strain;Tensile testing;Testing;Testing devices;Testing system;Thermal expansion;Thermal expansion coefficient;Thin films;Thin-film devices;Thin-film technology |
归属: |
英国 |
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