| 标准号： |
EN 62047-21-2014 |
| 英文名称： |
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials (IEC 62047-21:2014); German version EN 62047-21:2014 |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>微集成电路综合 |
| 发布日期： |
2015-04 |
| 发布单位： |
EN |
| 标准状态： |
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| ICS分类： |
半导体器件综合>>半导体器件综合 |
| 正文语言： |
英语 |
| 原文名称： |
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prufverfahren zur Querkontraktionszahl von Dunnschichtwerkstoffen der Mikrosystemtechnik (IEC 62047-21:2014); Deutsche Fassung EN 62047-21:2014 |
| 页数： |
16P.;A4 |
| 附注： |
History:DIN EN 62047-21 (2015-04);DIN EN 62047-21 (2012-11) |
| 被代替标准： |
EN 62047-21-2012 |
| 引用标准： |
ASTM E 132-2004;IEC 62047-8-2011 |
| 采用关系： |
DIN EN 62047-21-2015,IDT;IEC 62047-21-2014,IDT |
| 内容提要（EN）： |
Characteristics;Components;Definitions;Materials;Measurement;Measuring techniques;Microelectronics;Microsystem techniques;Poisson's ratio;Properties;Samples;Semiconductor devices;Single-axle;System engineering;Testing;Testing conditions;Thin films;Thin-film technology;Two-axles |
| 内容提要（QT）： |
Bauteil;Begriffe;Definition;Dunnschicht;Dunnschichttechnik;Eigenschaft;einachsig;Halbleiterbauelement;Merkmal;Messung;Messverfahren;Mikroelektronik;Mikrosystemtechnik;Poissonscher Beiwert;Poissonzahl;Probe;Prufbedingung;Prufung;Prufverfahren;Systemtechnik;Werkstoff;zweiachsig |
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