| 标准号： |
NF C96-050-4-2011 |
| 英文名称： |
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4 : generic specifications for MEMS. |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>半导体分立器件综合 |
| 发布日期： |
2011-09-01 |
| 发布单位： |
FR-AFNOR |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| 实施日期： |
2011-09-10 |
| ICS分类： |
半导体器件综合>>半导体器件综合 |
| 正文语言： |
其他 |
| 原文名称： |
Dispositifs ? semiconducteurs. Dispositifs microélectromécaniques. Partie 4 : spécification générique pour les MEMS |
| 页数： |
25P;A4 |
| 采用关系： |
EN 62047-4-2010,IDT;IEC 62047-4-2008,IDT |
| 内容提要（EN）： |
Automation;Bus systems;Classification systems;Communication technology;Components;Data bus;Electrical engineering;Electrical properties;Electromechanical;Environment;Generic specification;Information processing;Information technology;Materials;Measuring techniques;Mechanical properties;Microelectronics;Microsystem techniques;Microtechnique;Optical properties;Parameters;Properties;Quality assessment;Semiconductor devices;Specification (approval);Symbols;System engineering;Tensile strain;Tensile testing;Testing;Testing conditions;Testing devices;Thin films;Thin-film technology |
| 归属： |
法国 |
