| 标准号： |
NF C96-050-12-2012 |
| 英文名称： |
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12 : bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures. |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>半导体分立器件综合 |
| 发布日期： |
2012-07-01 |
| 发布单位： |
FR-AFNOR |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| 实施日期： |
2012-07-06 |
| ICS分类： |
半导体器件综合>>半导体器件综合 |
| 正文语言： |
其他 |
| 原文名称： |
Dispositifs ? semiconducteurs. Dispositifs microélectromécaniques. Partie 12 : méthode d'essai de fatigue en flexion des matériaux en couche mince utilisant les vibrations ? la résonance des structures ? syst?mes microélectromécaniques (MEMS) |
| 页数： |
35P;A4 |
| 采用关系： |
EN 62047-12-2011,IDT;IEC 62047-12-2011,IDT |
| 内容提要（EN）： |
Bending strength;Definitions;Electrical engineering;Fatigue;Fatigue limit;Materials;Microelectronics;Microsystem techniques;Resonance;Samples;Semiconductor devices;System engineering;Testing;Testing devices;Testing system;Thin-film technology |
| 归属： |
法国 |
