| 标准号： |
NF C96-050-8-2011 |
| 英文名称： |
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8 : strip bending test method for tensile property measurement of thin films. |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>半导体分立器件综合 |
| 发布日期： |
2011-10-01 |
| 发布单位： |
FR-AFNOR |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| 实施日期： |
2011-10-07 |
| ICS分类： |
半导体器件综合>>半导体器件综合 |
| 正文语言： |
其他 |
| 原文名称： |
Dispositifs ? semiconducteurs. Dispositifs microélectromécaniques. Partie 8 : méthode d'essai de la flexion de bandes en vue de la mesure des propriétés de traction des couches minces |
| 页数： |
21P;A4 |
| 采用关系： |
EN 62047-8-2011,IDT;IEC 62047-8-2011,IDT |
| 内容提要（EN）： |
Bend testing;Characteristics;Components;Definitions;Films;Layers;Materials;Measurement;Measuring techniques;Microelectronics;Microsystem techniques;Properties;Samples;Semiconductor devices;Strips;System engineering;Tensile strain;Testing;Testing conditions;Thin films;Thin-film technology |
| 归属： |
法国 |
