| 标准号： |
EN 62047-17-2015 |
| 英文名称： |
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films (IEC 62047-17:2015); German version EN 62047-17:2015 |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>半导体分立器件综合 |
| 发布日期： |
2015-12 |
| 发布单位： |
EN |
| 标准状态： |
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| ICS分类： |
半导体器件综合>>半导体器件综合 |
| 正文语言： |
英语 |
| 原文名称： |
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wolbungs-Prufverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dunner Schichten (IEC 62047-17:2015); Deutsche Fassung EN 62047-17:2015 |
| 页数： |
28P.;A4 |
| 附注： |
History:DIN EN 62047-17 (2015-12);DIN EN 62047-17 (2011-06) |
| 被代替标准： |
EN 62047-17-2011 |
| 引用标准： |
IEC 62047-2-2006 |
| 采用关系： |
DIN EN 62047-17-2015,IDT;IEC 62047-17-2015,IDT |
| 内容提要（QT）： |
Abmessung;Ausbuchtung;Basismaterial;Begriffe;Definition;Dunnfilm-Betriebsmittel;Dunnschicht;Dunnschichttechnik;Elektrotechnik;Halbleiterbauelement;mechanische Eigenschaft;mechanische Prufung;mechanische Stoffeigenschaft;Mikroelektronik;Mikrosystemtechnik;Probe;Prufung;Prufverfahren;Systemtechnik;Werkstoff;Wolbung |
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