| 标准号： |
IEC 62047-29-2017 |
| 英文名称： |
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 29: Electromechanical relaxation test method for freestanding conductive thin films under room temperature |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>半导体分立器件综合 |
| 发布日期： |
2017-1101 |
| 发布单位： |
IX-IEC |
| 标准状态： |
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| ICS分类： |
半导体器件综合>>半导体器件综合 |
| 起草单位/标准公告： |
IEC/SC 47F Micro-electromechanical systems |
| 正文语言： |
英语 |
| 页数： |
12P.;A4 |
| 附注： |
History:IEC 62047-29-2017-11;IEC 47F/295/FDIS-2017-09;IEC 47F/263/CDV-2016-11;IEC 47F/243/CD-2016-03 |
| 被代替标准： |
IEC 47F/295/FDIS-2017 |
| 引用标准： |
IEC 62047-2-2006;IEC 62047-3-2006;IEC 62047-8-2011;IEC 62047-21-2014;IEC 62047-22-2014 |
| 内容提要（EN）： |
Ambient temperatures;Base materials;Components;Conductive;Definitions;Dimensions;Electrical engineering;Electromechanics;Materials;Measurement;Measuring techniques;Mechanical properties;Microelectronics;Microsystem techniques;Properties;Relaxation;Samples;Semiconductor devices;Substrates (coating);System engineering;Temperature;Tensile testing;Testing;Testing conditions;Testing system;Thin films;Thin-film devices;Thin-film technology |
| 归属： |
国际 |
